微型超聲波清洗機(jī)有哪些工藝種類呢?
1、高頻超聲清洗
這是一種兆赫茲級的高頻超聲清洗技術(shù),微型超聲波清洗及在使用中設(shè)置為頻率高,空化效應(yīng)已不起作用,因此清洗的關(guān)鍵不是氣泡,是高頻壓力波的擦洗作用,其對污物的去除率接近百分之百。用戶選擇這種工藝的微型超聲波清洗機(jī)主要用于超大規(guī)模集成電路芯片上的污物清洗,以及硅晶片、陶瓷、光掩模等特種污物的清洗。
2、聚焦式清洗
采用機(jī)械掃描聚焦式超聲清洗的微型超聲波清洗機(jī),用戶使用其去除噴絲板微孔中的污物脫離十分明顯,清潔效果最佳。聚焦式清洗要求達(dá)到高的聲強(qiáng),市場上多選用的頻率以低頻為主。
3、多頻清洗
在微型超聲波清洗機(jī)內(nèi)安裝兩種或三種以上不同頻率的換能器,由多只發(fā)生器分別推動各自頻率的換能器。用戶在使用中選擇強(qiáng)度高的低頻超聲波,有利于對物體表面清洗。選用高頻超聲波空化密度高,沖擊波能穿達(dá)凹槽、細(xì)縫、深孔等細(xì)微結(jié)構(gòu)。同時(shí)缸中有多種頻率的超聲波,有助于用戶克服單頻清洗駐波場造成的清洗不均勻問題。
4、掃頻和跳頻的清洗
專業(yè)的微型超聲波清洗機(jī)內(nèi)掃頻和跳頻清洗都是為了改善缸中的聲場結(jié)構(gòu),前者解決了缸中的不均勻駐波場,使清洗均勻。對于用戶而言此種微型超聲波清洗機(jī)不僅兼顧到高低頻清洗,其換能器本身有兩個(gè)諧振頻率,具備高低頻交替進(jìn)行清洗,適用范圍更廣泛。